由于潛在環(huán)境災害、人身危險與財產(chǎn)損失風險的增加，企業(yè)面對營運中斷的風險也跟著提升。為了讓企業(yè)營運不會中斷，透過信息整合，加強工廠自動化與環(huán)境安全監(jiān)測，如導入廠務監(jiān)控系統(tǒng)(Facility Monitoring Control System;FMCS)，針對各種工業(yè)設施的運行狀態(tài)，進行集中監(jiān)視及遠程控制的自動化管理，便成為工廠自動化的重要趨勢。

     如石化產(chǎn)品的制作過程，往往都必須要在高溫、高壓、高噪音、有機揮發(fā)物濃度高的環(huán)境下進行，且每小時生產(chǎn)的化學品動輒以百噸計，只要稍有控制不慎或無法及時操控，都可能會造成現(xiàn)場操作人員與原物料的重大損失，對于工廠環(huán)境監(jiān)測的要求，自然居高不下。

      如原油的生產(chǎn)從開采出地表至輸送到石油公司，須經(jīng)歷采油井、計量站、聯(lián)合站、采油廠等設施，每個設施在過去都需要大批人力在現(xiàn)場操控、抄表，加上采油現(xiàn)場的惡劣環(huán)境，勢必會造成工作人員的沉重負荷。而石化?化工生產(chǎn)廠商需要的原料，包括原油、乙烯、丙烯、丁二烯、天然氣、蒸氣、氫氣等，在經(jīng)由管路運輸時，也因為這些原料的特殊性質(zhì)，往往需要透過監(jiān)測系統(tǒng)來確認與維護運輸經(jīng)過地區(qū)的安全。

      而在半導體產(chǎn)業(yè)方面，由于目前的制程，已經(jīng)逐步發(fā)展到20甚至16納米，可以容忍的氣體顆粒大小范圍也會跟著變小，尤其是制程進入深紫外光(DUV)后，因為微塵物(Particle)對不良率提升的影響更加明顯，相關偵測技術也變得更加重要，如何量測機臺內(nèi)部的微量揮發(fā)性有機氣體及酸性氣體，也就成為下一代制程的重要檢測要點。

      物聯(lián)網(wǎng)與監(jiān)測設備的結(jié)合，可以針對工業(yè)生產(chǎn)過程中的各種關鍵指標做到實時監(jiān)控，如企業(yè)只要在重度污染物排放口安裝無線傳感設備，不僅可以對污染排放進行實時監(jiān)測，還可以從遠程關閉排放口，防止突發(fā)性環(huán)境污染事故發(fā)生;也可以透過回饋控制系統(tǒng)，調(diào)整生產(chǎn)制程中的相關控制參數(shù)，有效降低污染物的排放量，如臺塑六輕就已與環(huán)保署合作，對其有機污染物的排放進行在線實時監(jiān)控。